真空镀膜设备性能分析

来源:林上科技   发布时间:2013/1/23 10:01:58  浏览:
真空镀膜设备主要由真空腔,抽气系统,蒸发系统,成膜控制系统等组件构成,如今镀光学薄膜的真空镀膜机还可配置安装光密度在线检测仪来监测真空镀膜生产品质。

  真空镀膜设备主要由真空腔、抽气系统、蒸发系统、成膜控制系统等组件构成。如今镀光学薄膜的真空镀膜机还可配置安装光密度在线检测仪,深圳市林上专业生产的光密度在线检测仪LS152是专业用于真空镀铝膜、真空磁控溅射镀太阳膜等光学薄膜生产线上真空镀膜检测设备。

真空镀膜设备


      
真空镀膜设备性能分析如下:
       1、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
       2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
       3、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
       4、真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
       5、根据工艺要求选择镀制方式及形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)磁控源(同轴圆柱型磁控源、园柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材材质及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直径靶材,气动、电动的引弧等),真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器,如自动压强控制仪等。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
     
       6、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计 + 针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
       7、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
       8、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
       9、完善的报警系统,对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

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