真空镀膜机在线检测设备

来源:林上科技   发布时间:2013/01/17 10:19  浏览:1161

光密度在线测试仪可应用于真空镀膜设备生产线上,真空镀膜设备(Vacuum coating equipment)主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过  蒸发镀膜设备+所镀产品图
程,最终形成薄膜。

真空镀膜设备薄膜均匀性的概念:
    1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
    2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
    3.晶格有序度的均匀性: 这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。

真空镀膜设备具体生产过程中的在线检测,可以安装光密度在线测试仪来连续监测真空镀膜设备的镀膜品质。光密度在线测试仪的检测原理是通过对镀膜完成后整条线薄膜厚度的光学性能稳定性测试,光源探测可见光透过率以及红外线、紫外线的穿透率来控制镀膜机,保证镀膜生产设备的生产高效性。

            真空镀膜检测设备

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