曝光机工作原理及曝光机能量检测

一、什么是曝光机？

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪 60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来， 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

二、曝光机工作原理

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。

三、UV LED曝光机特点

1、LED 让墨水深层固化 -LED灯发出的光波长是395nm，能够让墨水深层固化，因此不会发生印品表面已干但底层不干的情况。在各种介质上印刷都有很强的黏附性和抗刮划性。

2、 省电节能，减低成本 - LED发光达到某种亮度时所消耗的能量只有15瓦左右，而传统的灯达到同样亮度要消耗1500瓦的能量，即使与UV卤素灯相比，也可节省80%的能源，因此LED灯非常节能环保。

3、稳定性高 - UV喷墨印刷机的印刷质量跟UV干燥固化的过程有莫大关系，LED灯的稳定性使得输出的能量是可预见的、稳定的，因此印刷效果同样是可预见的、稳定的。

4、 灯源系统保用3年，使用寿命长 -LED灯寿命超过2万小时。

5、安全性高 - LED灯没有UVC射线，没有臭氧释放，也不易破损。

6、 更广泛的应用范围 - LED灯的发光不是红外线加热，发放的热力较低，因而不会影响那些容易受热而变形的介质(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷过程中的传送。这样，介质的应用范围就更加广泛了。

7、反应(开关)时间快 - LED灯不需要预热，可以开机后立即印刷，生产力得以提高。

四、UV LED曝光机能量检测

针对UV LED曝光机的UV LED灯的能量检测，需要用到专业检测UV LED灯的能量计林上LS128。